استفاده از پلاسماي مايكروويو كه از چگالي پلاسماي بالاتري نسبت به ساير انواع برخوردار است، در سال هاي اخير بيشتر مورد اقبال صنعت قرار گرفته است. همچنين دستگاه هاي سنتز با كمك مايكروويو نيز بدليل دارا بودن مزايايي از جمله زمان پروسه كوتاه و چگالي سنتز بالاتر تعداد قابل توجهي از پتنت ها را به خود اختصاص داده اند. دستگاه پلاسمايي كه بتواند با چگالي بالاتر ، در محدوده فشار پايين با حجم رآكتور و يكنواختي مناسب فراهم شود، بشدت در صنايع مورد نياز بوده و حجم زيادي از تحقيقات را پيرامون ساخت چنين ابزارهايي به خود اختصاص داده است. ساخت ابزاري كه پردازش و ساخت مواد را با چند روش مختلف و بصورت يكپارچه درون يك سامانه انجام دهد از اهداف اصلي اين اختراع ميباشد. در اختراع حاضر با توجه به مشكلات مطرح شده در بالا، دستگاهي توصيف گرديده است كه پلاسماي چگال و يكنواخت مايكروويو را با قيمتي ارزان فراهم ميكند كه همزمان قابليت انجام فرآيندهاي پردازش با پلاسما و سنتز مايكروويو را فراهم ميآورد. بطور كلي، اختراع حاضر را ميتوان در چهار بخش كلي مورد بررسي قرار داد: بخش كنترل و تركيب گاز ورودي ، سيستم توليد و انتشار امواج مايكروويو، محفظه و راكتور تشكيل پلاسما و بخش كنترل و تخليه گاز خروجي. از مهم ترين مزاياي اين تكنيك، پلاسما زني اجسام پيچيده، در سطح يا توده متخلخل انها مثل مؤلفه‌هاي سه بعدي براي كاربردهاي مهندسي بافت يا اندام مصنوعي، ذرات نانو و فيلم‌ها، اشاره كرد. كاربردهاي فرايندهاي پلاسمايي را نيز به همين ترتيب ميتوان در چهار بخش عمده تقسيم بندي نمود: پليمريزاسيون (لايه نشاني) ، فعال سازي سطح، سترون سازي و حكاكي (لايه برداري از سطح).